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產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡（XRM）Freiberg-Omega/Theta XRDX射線衍射儀-單晶硅定向儀
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準(zhǔn)的在線解決方案，我們專注于超高速和準(zhǔn)確的 Omega掃描方法，可在幾秒鐘內(nèi)確定完整的晶體取向。可添加二維(X-Y)或三維掃描，全自動化的搖擺曲線測量，使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中一個重要組成部分。
?應(yīng)用范圍
作為快速、簡單、可靠的X射線單晶定向儀，弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量控制、材料研發(fā)等領(lǐng)域，主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線的測量。
?應(yīng)用技術(shù)
?應(yīng)用實(shí)例
案例1：
藍(lán)寶石取向 mapping、搖擺曲線測量：窄反射峰=表面質(zhì)量好
案例2：
SiC 取向 mapping、搖擺曲線測量：寬反射峰=晶體表面局部干擾
案例3：
碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping
1.總傾斜偏差mapping
2.表面傾斜偏差mapping
3.垂直方向傾斜偏差mapping
4.水平傾斜偏差mapping
5.搖擺曲線mapping
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