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產品中心三維X射線顯微鏡（XRM）弗萊貝格--DDCOM用于晶體定向測量的桌面型X射線衍射儀
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?產品介紹
德國弗萊貝格DDCOM（用于晶體定向測量的桌面型X射線衍射儀）主要應用于單晶的*晶格取向的確定，其采用Omega掃描方法對樣品進行超高速晶體定位測量，可以測定立方晶體的任意位置取向，該設備配置了氣冷式X射線管，操作過程無需水冷，適用于科學研究及生產質量控制。
?技術特點
--確定單晶的*晶格取向
--使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量
--立方晶體任意未知取向的測定
--特別設計用于點陣方向的方位設置和標記
--氣冷式x射線管，無需水冷
--適合于研究和生產質量控制
所有想要的晶體方向參數在5秒內一次旋轉中被捕獲
?可測量材料的例子
--立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP
--立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
--正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4
--六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(藍寶石)，GaPO4, La3Ga5SiO14
--斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3
--另可根據客戶的要求進一步選料
?DDCOM的應用
平面方向的標記和測量
--在晶圓片的注入和光刻過程中，需要平面或凹槽作為定位標記。切割過程中，晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此，檢查平面或缺口的位置至關重要。
--為了確定平面或缺口的位置，就需要測量平面內的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位，基于此，便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
--DDCOM（用于晶體定向測量的桌面型X射線衍射儀）通過旋轉轉盤，可以將任何平面方向轉換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下，這可以大大簡化將標記應用到特定平面方向的過程。
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