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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專用檢測儀器設(shè)備XRDFreiberg-Ingot XRDIngot XRD - 晶錠X射線定向儀
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀主要里程碑：
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) - 振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)
◆ 2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀的特點：
◇ 精度高
◇ 測量速度快： < 5秒/樣品
◇ 典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度（例如：Si 100）：< 0.003 °，極小< 0.001 °。
◇ 晶錠的自動對準(zhǔn)
◇ 膠片的自動定位
◇ 光學(xué)測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征（平邊Flat、凹槽Notch位置）
◇ 晶錠的自動標(biāo)記
◇ 易于集成到工藝線中（手動或機(jī)器人裝載）。
◇ 數(shù)據(jù)矩陣代碼（DMC）閱讀器
◇ MES接口；SECS/GEM或類似接口
◇ 直徑達(dá)300毫米，長度達(dá)520毫米的晶錠
Ingot XRD prepared for manual loading
掃一掃，關(guān)注公眾號
服務(wù)電話：
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上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室
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17621138977
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