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產品中心半導體專用檢測儀器設備XRDWafer XRD-200晶圓x射線全自動化晶體定向儀分揀系統|束蘊儀器
產品簡介
產品分類
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的特點：
◇ 自動化的晶圓處理和分類系統（例如：盒到盒）。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度）的光學測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 測量速度： < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標準偏差傾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
全自動化的晶圓分揀和處理系統
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑：
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置，名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開發 Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 - 振蕩器產量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統
◆ 2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師
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服務電話：
021-34685181
上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室
wei.zhu@shuyunsh.com
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